
【银光2026年10月27日讯】银光推出NS纳米级直驱超精密平台。随着自动化装备的智能化程度的要求不断提升,在硅光耦合、半导体检测、超快激光加工、超分辨显微等高端装备领域,对运动平台的定位精度、在位稳定性与动态性能要求持续升级。纳米级直驱超精密平台凭借独特技术架构,成为高端精密制造的核心运动部件。
什么是纳米级超精密平台?
纳米级直驱超精密平台,是以直线电机直驱、超高分辨率光栅全闭环为核心的高端运动部件。省去丝杆、皮带等中间传动环节,无背隙、运动平顺,在数十至数百毫米大行程范围内实现纳米级定位与低抖动在位稳定度,可一站式完成大范围粗定位与纳米精对准。产品支持多轴组合、长时间连续作业,广泛应用于硅光耦合、半导体检测、超快激光加工、光学精密装调等领域,为高端精密装备国产化提供高性能运动支撑。
✨ 产品核心亮点
无铁芯直线电机结构
·零齿槽力,低速运动更平稳,速度脉动小。
·动子与磁轨之间无磁吸力,导轨预载稳定,预期寿命更长。
·动子质量更轻,低惯量,加速度性能更优。响应快,整定时间短,机械带宽高。
纳米级编码器
·采用纳米级高精度直线编码器,采用正弦 (SINCOS) 细分差值采样,实现 ±0.1 微米级别的定位精度和重复精度。
高精度防蠕动交叉滚柱导轨
·高精密交叉滚柱导轨,在获得高性能直线度和运行平稳性的同时,让结构空间大幅缩小,高精度,低摩擦。
·防蠕动设计,确保高频次、短行程运动磨损受力和润滑均匀,延长使用寿命。
多种组合样式
·应对客户不同应用场景,支持单轴、两轴、三轴等常用组合样式。
·一体化和模块化相结合,快速实现精准高效的定制化方案。
动磁铁式设计
·动磁铁式设计,动子质量轻,惯量小,动态性能更优秀。
·动子无发热,热扰动更小。
·线缆静不随动,减少线缆拖拽扰动和疲劳磨损。
配套控制解决方案
·为客户提供专属配套驱控运动解决方案。配置高精度低压伺服驱动器,控制更为精细化,助力在超高精度场合实现更精准的控制精度和响应。
✨ 核心应用场景
半导体:
晶圆缺陷检测、掩模对准、探针测试、先进封装微对位
光电子 / 硅光:
光纤耦合、光芯片对准、光学元件调芯、干涉检测
精密计量:
显微扫描、AFM 配套、光谱检测、微纳形貌测量
科研:
微纳操纵、材料表征、激光微加工
微米之间,见纳米精度。纳米定位平台是整套超精密设备的 “运动心脏”,VINKO 不只是交付一个位移台,同步提供控制软件、标定测试、集成指导、方案仿真全套技术支持,降低设备厂商的开发门槛。
VITALITY & INNOVATION
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银光(VINKO)源于Vitality(活力),Innovation(创新),Navigating(探索),Kindness(友善), Open(开放)的首字母缩写。
活力和创新,是银光持续追求的企业价值。
银光致力于打造精品,以技术创新和客户价值为驱动力,致力于成为中国智能电动执行单元一流品牌。